发明名称 SELF-ALIGN CONTACTING METHOD OF CAPACITOR STORAGE NODE
摘要
申请公布号 KR0151115(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19890015369 申请日期 1989.10.25
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 HONG, KI-KAK
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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