| 发明名称 |
ULTRASONIC CLEANING APPARATUS AND SUPPORTING APPARATUS FOR OBJECTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0150466(B1) |
申请公布日期 |
1998.12.01 |
| 申请号 |
KR19910001071 |
申请日期 |
1991.01.23 |
| 申请人 |
KOKUSAI DENKI ERUTETSUKU KK;HATANO, HAJIME |
发明人 |
KANAI, SADAO;ISEDA, YOJI |
| 分类号 |
B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B08B3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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