发明名称 DEIONIZED WATER VELOCITY AUTO-CONTROLLER
摘要
申请公布号 KR0127365(Y1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950024234U 申请日期 1995.09.06
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KIM, HEE-SUK;YUN, CHOL-SOO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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