| 发明名称 |
PATTERN SIZE MEASURING DEVICE AND A METHOD FOR MEASURING THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0153795(B1) |
申请公布日期 |
1998.12.01 |
| 申请号 |
KR19940009885 |
申请日期 |
1994.05.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
TSUBUSAKI, KOJI;KOMATSU, FUMIO |
| 分类号 |
G01B11/24;G06K9/46;G06T1/00;G06T7/00;G06T7/40;G06T7/60;(IPC1-7):G01B11/24;G06K9/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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