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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 KR0158939(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19940026092 申请日期 1994.10.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOMORI, KAZUHIRO;NISHIMOTO, TOSHIAKI;MEGURO, SATOSHI;KUME, HITOSHI;KAMIGAKI, YOSHIAKI
分类号 H01L27/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
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