| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR0153788(B1) |
申请公布日期 |
1998.12.01 |
| 申请号 |
KR19930025394 |
申请日期 |
1993.11.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
MISAWA, HIROTO;TSUJI, HITOSHI |
| 分类号 |
H01L29/812;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
