发明名称 METHOD FOR PLANE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0151078(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950021399 申请日期 1995.07.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 KIM, JUNG-HAN
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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