| 发明名称 |
CARRIER CONVEYING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0149446(B1) |
申请公布日期 |
1998.12.01 |
| 申请号 |
KR19910013590 |
申请日期 |
1991.08.06 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD;TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
SHIRAIWA, HIROTSUKU |
| 分类号 |
B65G1/00;B65G47/52;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/48 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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