发明名称 WAFER FIXTURE
摘要
申请公布号 KR0128239(Y1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19940028005U 申请日期 1994.10.26
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 PARK, YANG-SOO;HO, WON-JOON
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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