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发明名称 BATH FOR SEMICONDUCTOR PRODUCING APPARATUS AND FABRICATING METHOD
摘要
申请公布号 KR0157692(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950019312 申请日期 1995.07.03
申请人 KOREA DNS CO.,LTD 发明人 CHOE, JAE-SUK
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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