发明名称 ISOLATING METHOD AND PLANERIZING METHOD
摘要
申请公布号 KR0155874(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950028482 申请日期 1995.08.31
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 LEE, WON-SUNG
分类号 H01L21/76;H01L21/302;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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