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发明名称 TUBE MOUNT OF SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR0127110(Y1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950017242U 申请日期 1995.07.13
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 YUN, SUK-MIN;KIM, JAE-HYUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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