发明名称 DRYING APPARATUS OF WAFER
摘要
申请公布号 KR0156827(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950039206 申请日期 1995.11.01
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 SONG, JAE-MIN;KO, YONG-SUN;KWAN, YUNG-MIN;HWANG, INN-SUK
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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