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发明名称 UPSTREAM CURRENT THWARTING APPARATUS OF WATER OF WAFER CLEANER
摘要
申请公布号 KR0156160(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950047414 申请日期 1995.12.07
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 HA, KOUNG-HO
分类号 (IPC1-7):H01L21/341 主分类号 (IPC1-7):H01L21/341
代理机构 代理人
主权项
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