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发明名称 NON-DESTRUCTIVE MEASURING SENSOR FOR SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR0150428(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19930026124 申请日期 1993.12.01
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO.,LTD 发明人 HIRAE, SADAO;MATSUBARA, HIDEAKI;KOUNO, MOTOHIRO;SAKAI, TAKAMASA
分类号 G01B11/14;G01N27/00;G01R1/07;G01R27/26;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B11/14
代理机构 代理人
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