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发明名称 HEATER FOR HEATING CHEMICAL SOLVENT
摘要
申请公布号 KR0151013(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19940034247 申请日期 1994.12.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 KO, SE-JONG;YUN, YOUNG-HWAN;YUN, MIN-SANG;JUNG, JAE-HYUNG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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