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发明名称
COOLING DEVICE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE APPARATUS
摘要
申请公布号
KR0131995(Y1)
申请公布日期
1998.12.01
申请号
KR19950044633U
申请日期
1995.12.20
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD
发明人
CHOE, JIN-SUNG;LIM, JI-YONG
分类号
H01L23/34;(IPC1-7):H01L23/34
主分类号
H01L23/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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