首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 INDIRECT TEMPERATURE-MEASUREMENT OF FILMS FORMED ON SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 KR0151150(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19900004397 申请日期 1990.03.31
申请人 TOKUSAI GLJUTSU KAIHATSU KK;TOKYO ELECTRON KYUSHU LTD 发明人 SHIRAKAWA, EIICHI;NOMURA, MASAFUMI;NATSUMURA, KIMIHARU
分类号 G01J5/60;H01L21/027;(IPC1-7):G01J5/60 主分类号 G01J5/60
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com