| 发明名称 |
CRACK DETECTING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR0127232(Y1) |
申请公布日期 |
1998.12.01 |
| 申请号 |
KR19950024571U |
申请日期 |
1995.09.13 |
| 申请人 |
LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD |
发明人 |
JANG, HAE-DO;CHOE, WOONG-KI |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
