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发明名称 COPPER ETCHING APPARATUS EQUIPPED WITH ULTRA VIOLET LAMP BY INDUCTION COUPLING PLASMA
摘要
申请公布号 KR0149772(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950002234 申请日期 1995.02.08
申请人 KAIST 发明人 HUH, SUNG-HOE;CHOE, KANG-SIK;HAN, CHUL-HEE
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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