发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PLATES |
摘要 |
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申请公布号 |
RU1566814(C) |
申请公布日期 |
1998.11.27 |
申请号 |
SU19874347942 |
申请日期 |
1987.12.22 |
申请人 |
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发明人 |
KONSTANTINOV P.B.;NOVIKOV A.P.;TJUN'KOVA EH.V.;SHULJAKOVSKIJ A.E. |
分类号 |
C30B33/04;C30B29/40;(IPC1-7):C30B33/04 |
主分类号 |
C30B33/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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