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经营范围
发明名称
Mittel zur Entfernung von Photoresist, das zur Verminderung von Metallkorrosion reduzierende Stoffe enthält
摘要
申请公布号
DE69409457(T2)
申请公布日期
1998.11.26
申请号
DE19946009457T
申请日期
1994.10.06
申请人
MALLINCKRODT BAKER, INC., PHILLIPSBURG, N.J., US
发明人
SCHWARTZKOPF, GEORGE, FRANKLIN TOWNSHIP, NJ 07882, US;SURENDRAN, GEETHA, BRONX, NY 10462, US
分类号
C23F11/12;C23F11/14;C23F11/16;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/42
主分类号
C23F11/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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