| 摘要 |
<p>Bei einer integrierten optischen Schaltung mit einem Siliziumsubstrat (1) und darauf angeordneten Wellenleitern (2, 3) ist als Wellenleiter mindestens ein photonischer Kristall vorgesehen, der von einem Gitter aus Nadeln (6) gebildet ist. Die Nadeln (6) können durch Korpuskularstrahl-Deposition hergestellt werden.</p> |
