发明名称 ELLIPSOMETRIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0766812(A4) 申请公布日期 1998.11.25
申请号 EP19960910501 申请日期 1996.03.20
申请人 KANSAS STATE UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION 发明人 LAW, BRUCE, M.
分类号 G01B11/06;G01J4/04;G01N21/21;(IPC1-7):G01J4/00 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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