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发明名称 Solid annular gas discharge electrode
摘要
申请公布号 EP0707337(B1) 申请公布日期 1998.11.25
申请号 EP19950307085 申请日期 1995.10.06
申请人 IPEC PRECISION, INC. 发明人 STEINBERG, GEORGE N.
分类号 C23F4/00;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;C23C16/44 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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