Wafer probe station having integrated guarding, Kelvin connection and shielding systems,申请号EP19930303936-传众专利搜索

发明名称	Wafer probe station having integrated guarding, Kelvin connection and shielding systems
摘要
申请公布号	EP0574149(B1)	申请公布日期	1998.11.25
申请号	EP19930303936	申请日期	1993.05.20
申请人	CASCADE MICROTECH, INC.	发明人	SCHWINDT, RANDY J.;HARWOOD, WARREN K.;TERVO, PAUL A.;SMITH, KENNETH R.;WARNER, RICHARD H.;ANDREWS, PETER D.
分类号	H01L21/66;A46D1/00;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/02;G01R31/28;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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