发明名称 VACUUM COATING FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10310864(A) 申请公布日期 1998.11.24
申请号 JP19970118955 申请日期 1997.05.09
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 TANAKA MASARU
分类号 C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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