| 发明名称 |
MICROMACHINE DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10313139(A) |
申请公布日期 |
1998.11.24 |
| 申请号 |
JP19970119572 |
申请日期 |
1997.05.09 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HIRATA AKIHIKO;MACHIDA KATSUYUKI;KURAKI OKU |
| 分类号 |
G01P15/125;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/09;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L29/84;H01L49/00;(IPC1-7):H01L49/00;H01L21/306 |
主分类号 |
G01P15/125 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
