发明名称 METHOD FOR DIAGNOSING DETERIORATION AND LIFE OF ELECTRONIC DEVICE AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10313034(A) 申请公布日期 1998.11.24
申请号 JP19970137930 申请日期 1997.05.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SASAKI KEIICHI
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/320 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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