| 发明名称 |
ELECTROSTATIC TRIODE LENS, ION IMPLANTATION APPARATUS, AND ION BEAM FOCUSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10312770(A) |
申请公布日期 |
1998.11.24 |
| 申请号 |
JP19980120357 |
申请日期 |
1998.04.30 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
BENVENISTE VICTOR M;KELLERMAN PETER L |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/12;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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