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经营范围
发明名称
PLASMA CONTROLLER
摘要
申请公布号
JPH10311888(A)
申请公布日期
1998.11.24
申请号
JP19970120021
申请日期
1997.05.12
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
MATSUTOMI SHOKICHI
分类号
G21B1/11;G21B1/00;(IPC1-7):G21B1/00
主分类号
G21B1/11
代理机构
代理人
主权项
地址
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