发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10313012(A) 申请公布日期 1998.11.24
申请号 JP19970119486 申请日期 1997.05.09
申请人 SONY CORP 发明人 SUGAWARA TATSUHIRO
分类号 H01L21/336;H01L21/324;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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