| 发明名称 |
SUBSTRATE-CLEANING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10312983(A) |
申请公布日期 |
1998.11.24 |
| 申请号 |
JP19970120863 |
申请日期 |
1997.05.12 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI IPPEI;HIRAOKA NOBUYASU |
| 分类号 |
B08B1/04;B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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