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<p>Ein Sensor zur Bestimmung des Feuchtegehalts weist einen Trägerchip (10) mit einer in demselben gebildeten Membran (12) sowie eine Heizeinrichtung (14) zum Beheizen der Membran (12) auf. Eine erste Temperaturerfassungseinrichtung (16) zum Erfassen der Temperatur der Membran (12) und eine zweite Temperaturerfassungseinrichtung (20) zum Erfassen der Umgebungstemperatur sind vorgesehen. Der Sensor zur Bestimmung des Feuchtegehalts umfaßt ferner eine Einrichtung zum Bestimmen des im Umgebungsbereich der Membran (12) vorliegenden Feuchtegehalts auf der Grundlage der erfaßten Temperaturen.</p> |
