MICROMEMBRANE PUMP

摘要

Eine Mikromembranpumpe weist eine Pumpmembran (110; 122) auf, die mittels einer Antriebseinrichtung (100; 120) in eine erste und eine zweite Stellung bewegbar ist, einen Pumpenkörper (102; 104; 104'), der mit der Pumpmembran (110; 122) verbunden ist, um eine Pumpkammer (112) zwischen denselben festzulegen, wobei der Pumpenkörper (102; 104; 104') aus zwei Halbleiterscheiben gebildet ist, in denen einstückig mit denselben jeweils ein Ventilsitz und eine Ventilklappe gebildet sind, wobei die beiden Halbleiterscheiben derart verbunden sind, dass jeweils durch einen Ventilsitz der einen Halbleiterscheibe und eine Ventilklappe der anderen Halbleiterscheibe ein passives Rückschlagventil (106, 108) gebildet ist, wobei eines (106) der passiven Rückschlagventile (106, 108) in einer die beiden Halbleiterscheiben durchdringenden Einlassöffnung angeordnet ist, während das andere (108) der Rückschlagventile (106, 108) in einer die beiden Halbleiterscheiben durchdringenden Auslassöffnung angeordnet ist. Die Pumpmembran (110; 122) vergrössert bei der Bewegung aus der ersten in die zweite Stellung das Volumen (V0) der Pumpkammer um ein Hubvolumen ( DELTA V) und verringert bei der Bewegung aus der zweiten in die erste Stellung das Volumen der Pumpkammer (112) um dieses Hubvolumen. Gemäss der vorliegenden Erfindung genügt das Verhältnis epsilon des Hubvolumens ( DELTA V) zu dem Volumen (V0) der Pumpkammer (112), wenn die Pumpmembran (110; 122) in der ersten Stellung ist, folgender Gleichung (a), wobei p0 der Atmosphärendruck ist, gamma der Adiabatenkoeffizient ist, und DELTA pcrit der maximale von der Ventilgeometrie und der Ventilbenetzung abhängige Druckwert, der nötig ist, um die Ventile zu öffnen, ist.