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<p>Ein Verfahren zum Herstellen eines Pumpenkörpers mit einer mit einem Einlaßventil (106) versehenen Einlaßöffnung und einer mit einem Auslaßventil (108) versehenen Auslaßöffnung umfaßt zunächst das Strukturieren jeweils einer ersten Hauptoberfläche einer ersten und zweiten Halbleiterscheibe (200) zur Festlegung einer Ventilklappenstruktur (202) des Einlaßventils und einer Ventilsitzstruktur (204) des Auslaßventils in der ersten Scheibe und einer Ventilklappenstruktur des Auslaßventils und einer Ventilsitzstruktur des Einlaßventils in der zweiten Scheibe. Nachfolgend wird jeweils eine Ventilklappenwannenstruktur (206; 216) und eine Ventilöffnungswannenstruktur (208; 218) in einer vorbestimmten Beziehung zu den Ventilklappenstrukturen und den Ventilsitzstrukturen in jeweils einer zweiten Hauptoberfläche der ersten und der zweiten Halbleiterscheibe gebildet. Die ersten Hauptoberflächen der ersten und der zweiten Halbleiterscheibe werden derart verbunden, daß die jeweils eine Ventilklappenstruktur zu einer Ventilsitzstruktur eine vorbestimmte Beziehung aufweist. Abschließend werden die jeweils zweiten Hauptoberflächen der ersten und der zweiten Halbleiterscheibe zumindest im Bereich der Ventilklappenwannenstruktur und der Ventilöffnungswannenstruktur zum Freilegen der Ventilklappen und zum Öffnen der Ventilsitze geätzt.</p> |
