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发明名称 Schichtaufbau mit einer ferroelektrischen Schicht und Herstellverfahren
摘要
申请公布号 DE19630110(C2) 申请公布日期 1998.11.19
申请号 DE19961030110 申请日期 1996.07.25
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 BRUCHHAUS, RAINER, DR., 80997 MUENCHEN, DE;PITZER, DANA, 80939 MUENCHEN, DE
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/115;H01L41/09;(IPC1-7):H01G7/06;H01L37/00;H01L41/00;G11C11/22 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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