发明名称 Plasmabearbeitungsreaktor
摘要
申请公布号 DE69130348(D1) 申请公布日期 1998.11.19
申请号 DE19916030348 申请日期 1991.07.31
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 COLLINS, KENNETH S., SAN JOSE, CALIFORNIA 95037, US;RODERICK, CRAIG A., SAN JOSE, CA 95117, US;YANG, CHAN-LON, LOS GATOS, CA 95032, US;WANG, DAVID N.K., SARATOGA, CA 95070, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US
分类号 C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H01H1/46;C23C16/50 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
主权项
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