发明名称 Pyrolytic deposition of germanium
摘要
申请公布号 US3211583(A) 申请公布日期 1965.10.12
申请号 US19610140638 申请日期 1961.09.19
申请人 MELPAR, INC. 发明人 RILEY JOHN E.
分类号 C23C16/18;H01L29/00 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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