卧式喷涂热解装置

摘要

本实用新型属于卧式喷涂热解装置设计。本实用新型设计一种加热炉与石英管为一体的喷涂装置,加热丝缠绕在石英管的外壁,再用石棉泥包裹,同时留一观察窗口,从而不仅达到可喷涂较大基板的目的而且可在喷涂同时直接观察反应情况。该装置使用方便,可根据基板大小设计制造不同直径的石英管炉,克服了受炉体限制不能喷涂较大基片的缺点,同时可随时观察反应过程,为取得高质量的膜提供了保证。

主权项

1.一种卧式喷涂热解装置，其特征在于炉帽(1)呈漏斗状，左端细口与排气系统相接，右端漏斗状口带有外磨口，石英管炉(2)中间直径粗，两端直径细，两端的细管带有内磨口，左端的内磨口与漏斗状炉帽的外磨口相匹配，右端的内磨口与喷枪(6)的外磨口相匹配，喷枪(6)为一直角形空心管，从喷枪头处套入一直径大于空心管的套管，一端与喷枪头形成一同心圆，另一端在直角前部焊封，在焊封处的左侧垂直于套管开有一进气管(8)，在进气管(8)的左侧套管的外侧焊一外磨口直径小于石英管炉(2)右端的内磨口，与其匹配，喷枪(6)的垂直部分焊一外磨口与溶液瓶(7)的内磨口相匹配，石英管炉(2)中间直径粗的部分，外壁缠绕电阻丝(4)，电阻丝缠绕至左右两端直径细的细管部分，套有陶瓷管的热电偶(5)的一端封入石英管中部，另一端从细管与粗管的嵌接处引出，电热丝(4)的外侧加盖石棉泥(3)，在石英管炉(2)中间直径粗的部分留有一长方形观察窗口。