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发明名称 Method for testing substrater for liquid crystal displays (LCD) using a corpuscular beam
摘要
申请公布号 EP0523594(B1) 申请公布日期 1998.11.18
申请号 EP19920111912 申请日期 1992.07.13
申请人 ETEC EBT GMBH 发明人 BRUNNER, MATTHIAS, DR.;SCHMITT, REINHOLD, DIPL.-ING.
分类号 G01R31/02;G01R31/302;G01R31/305;G01R31/308;G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/1368;G09F9/35;G09G3/18;(IPC1-7):G01R31/305 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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