发明名称 ELECTROMAGNETIC HIGH-FREQUENCY OR MICROWAVE APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0878020(A1) 申请公布日期 1998.11.18
申请号 EP19970908130 申请日期 1997.01.31
申请人 WU, JENG-MING 发明人 WU, JENG-MING
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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