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发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH10308517(A) 申请公布日期 1998.11.17
申请号 JP19980126440 申请日期 1998.05.08
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKENAKA SATOSHI
分类号 H01L27/08;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
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