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发明名称 METHOD FOR SUPPLYING MINUTE AMOUNT OF GAS AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10306377(A) 申请公布日期 1998.11.17
申请号 JP19970130261 申请日期 1997.05.02
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HATANO TATSUO
分类号 C23C14/24;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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