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发明名称 Charge exchange cell
摘要 A charge exchange cell for ion implanters employing a tandem accelerator has a hollow-wall construction with a heating element inserted inside the hollow wall.
申请公布号 US5838012(A) 申请公布日期 1998.11.17
申请号 US19970822543 申请日期 1997.03.19
申请人 GENUS, INC. 发明人 LAFONTAINE, MARVIN;TOKORO, NOBUHIRO;QUATTRINI, VICTOR;BISSONNETTE, DANIEL;SAKASE, TAKAO
分类号 G21K1/14;H01J37/317;(IPC1-7):H01J27/00 主分类号 G21K1/14
代理机构 代理人
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