| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT AND METHOD FOR PROBING TO SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10308423(A) |
申请公布日期 |
1998.11.17 |
| 申请号 |
JP19970119103 |
申请日期 |
1997.05.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KASUKABE SUSUMU;MORI TERUTAKA;ARIGA AKIHIKO;SHIGI HIDETAKA;WATABE TAKAYOSHI;KONO RYUJI |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
