发明名称 HEATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH10308399(A) 申请公布日期 1998.11.17
申请号 JP19970119022 申请日期 1997.05.09
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 YOSHINOUCHI ATSUSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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