发明名称 Ionized pvd source to produce uniform low-particle deposition
摘要
申请公布号 SG54615(A1) 申请公布日期 1998.11.16
申请号 SG19980000041 申请日期 1998.01.06
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MING FU JIAN
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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