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发明名称 ADVANCED EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR0155830(B1) 申请公布日期 1998.11.16
申请号 KR19950016257 申请日期 1995.06.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 SONG, JAE-KWAN;KIM, JUNG-KON;PARK, KYUNG-SHIN;BAEK, KYUNG-SUNG
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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