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发明名称 Coating method and apparatus
摘要
申请公布号 SG54553(A1) 申请公布日期 1998.11.16
申请号 SG19970003149 申请日期 1997.08.27
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED. 发明人 TATAYAMA KIYOHISA
分类号 B05C5/00;B05B15/02;B05C11/08;G03F7/16;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):B05B15/02 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
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